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　　半导(dao)體指的是在常温下导電性能介於导體與絕(jue)缘體之間的一種材料，主(zhu)要應用於集成電路、消費電子、通信(xin)系統、光伏发電、照明、大(da)功率(lv)電源轉换等领域，在半导體工業加工的過程中(zhong)將(jiang)會有部分的氣體排出，那半导體工業的废氣有(you)毒(du)吗，怎麼處理(li)好?

　　半导體工業在加(jia)工的過程中會使用到(dao)光刻胶、蚀刻液、清洗剂、顯影剂等溶剂，而这些溶剂(ji)是含有大量的(de)有機物成分，排放出來(lai)的废氣(qi)含有HCl、氨、HF等危险污(wu)染物，而主(zhu)要處理的是具有挥(hui)发性的VOCs。

　　温馨提示：VOCs污染(ran)物為有機化合物，在浓(nong)度较高且有火花或静電情况下，極(ji)易发生(sheng)闪爆現象。

　　半导體在製造過程(cheng)中一般的污染(ran)源包括顆粒污染物、金屬离子和化學物質等，而这些都是屬於有害的污染物。

　　半导體废氣處理方法根據工業废氣成分進行废氣處(chu)理設備(bei)的選擇：

　　沸石轉轮吸附浓縮裝(zhuang)置：主要用於有(you)機废氣(qi)的治理， 特別適合於大風(feng)量(liang)，低浓度場合;

　　喷淋塔：對於(yu)含(han)有酸性/碱(jian)性物質的废氣 ，半导體(ti)廠封闭车間大都采用大型卧式洗涤塔進行废氣處理(li)。

　　TO直燃炉(催化燃烧裝置)：對大風量、低(di)浓度的VOCs废氣(qi)，TO直燃炉一(yi)般會搭配沸石轉轮使用。

　　半导體工業废氣是具有毒(du)性的(de)，不(bu)同的工業采用的工藝原材(cai)料不同，因此采用的废氣處理設備以及工藝都(dou)是不(bu)一樣的，具體的解(jie)決方(fang)案可咨詢宏森環保的在線工程師。