随着(zhe)科技的发展(zhan),目前市場上新材料行業與傳統(tong)材料相(xiang)比,其(qi)應用範围更廣了,新材料產業的研究與開(kai)发投入高,產(chan)品的附加值高在生產與市場的國际性強,而且新材料(liao)半导體行(xing)業的发展前景好。

而新材料半导體行業在加工的過程中采用清洗(xi)剂、顯影剂、光刻胶(jiao)、蚀刻(ke)液等溶(rong)剂,这些溶(rong)剂中含有大量的有機物成(cheng)分,在整個工藝加工的過程中將會有(you)部分的有機溶剂大部分通過挥发成為(wei)废氣排放,这(zhe)部分挥发的废氣主要成分為具有挥发性的(de)VOCs,下面講解一(yi)下關於:新材料半导體行(xing)業的废氣(qi)應该怎麼處理。
新材料半导體(ti)行業的废氣(qi)除了含有VOCs以外,還混(hun)有(you)HCl、氨、HF等危险污染物,宏森環保采用(yong)的是RTO蓄熱式焚烧炉來處理半导體(ti)行(xing)業的废氣:
工業废氣中主要含(han)有酸性氣體、碱性氣體(ti)、有機废氣和有毒氣(qi)體四種,自身(shen)具有的溶(rong)解特性,半导體工業的氣體虽(sui)然排放量大,但是氣體的浓度低。
RTO設備采(cai)用的是高温破坏焚烧(shao)的废氣治理技術,升温能源一般是電和天然氣,其高温需高(gao)達700度或者以上,虽然温度需高達(da)700度左右,但(dan)是其實消耗的能源並不多,設備運行期(qi)間部分的熱能(neng)是能够回收重新利用的,降低能量消耗的同時提高了废氣分子(zi)的燃烧反應速率。
宏森環保半导體材料废氣處理設備的净化效率可維持稳定在99%以上。