四氟(fu)化(hua)碳是一種有機物(卤代(dai)烃),在常(chang)温常壓下是(shi)一種无色氣體,这種废氣如直接排放於(yu)大氣中不仅會造(zao)成嚴重的空氣污染,而且如果人類(lei)吸入高浓度的四氟化碳會出現呼吸(xi)困难、窒息、呕(ou)吐等現象,那對於加工廠排放出來的含有(you)四氟化碳(tan)的废氣應该怎麼處理?
目前在各種集成電路(lu)的离子刻蚀(shi)加工工藝(溶剂(ji)、润滑剂、激光氣體(ti)、低(di)温製(zhi)冷剂、絕缘材(cai)料(liao)、紅外檢波管的冷(leng)卻剂)中會排放(fang)出含四氟化碳的工業废氣,除了四氟化(hua)碳(tan)還有三氟化氮、六氟(fu)化硫等酸(suan)性废氣,也是來源於電子產品生產(chan)時芯片(pian)用的刻蚀剂、清洗剂等领域。
因不同的產(chan)品用到的含氟物質不(bu)同,自(zi)然排放出來(lai)的含氟物質是不一樣的,含四(si)氟化碳有機废氣處理設備可以采用熱催化氧化方法、直接吸收法、等离子體分解法、直接燃(ran)烧方法等處理(li)工藝。
含四氟(fu)化(hua)碳废氣處理方法之直接燃烧法:
直接燃烧指的是把废氣中的有害(hai)物質当做燃料直接烧掉,在燃烧工藝(yi)進行時燃烧所放出的熱量可以补(bu)偿散向環境中的熱量,起到(dao)熱量的(de)二次利用,直接燃烧法適用於燃烧時熱值(zhi)高的、浓(nong)度(du)高的有機废氣。
除了直(zhi)接燃(ran)烧法以外,如想了(le)解其他的废氣處理方(fang)法可以直接到宏森環保進行相關的處理方案查詢。