工業用的(de)含氟废氣一般是四氟化碳、三氟化氮、六氟化硫等標(biao)準混(hun)合氣,在工業加工的過程中會產生大(da)量的含酸性氣體(ti)的废氣,下面簡單講解一下關於含氟工業废氣處理設備。
在對於生產芯片用的刻蚀剂(ji)、清(qing)洗剂時需要用到(dao)三氟化氮,随(sui)着因特網、電路、液晶面板、光伏太阳能、手機的(de)迅(xun)速普及,使得芯(xin)片的使用率提高(gao)使得三氟化氮的使用量越來越大。
含氟工業废氣處理設備可以采(cai)用直接吸收法和氟(fu)化氢铵熔融盐電解法的工藝來進行废氣處理。
氟化氢(qing)铵熔融盐電解(jie)法:
電(dian)解法工藝中會加入電解铝,電解铝生產的污染源冰晶石一氧(yang)化铝熔體電解製铝(lv)過程中,散发的有害氣(qi)體與粉尘主要有固態與氣態氟化物二者各占約(yue)50%左右。
直接吸收法:采用水、碱性溶液或某些盐類(lei)溶液來吸(xi)收含氟废氣,設備在(zai)運行過程中選擇配置的吸收剂(ji)還可以得到氟硅酸等副產品,最后以此來達到净(jing)化或者回收的目的(de)。
工業废氣處理設(she)備(bei)的設備結構簡單、操(cao)作(zuo)方便、體(ti)积小、易實(shi)現而且净化過程可以回收各(ge)種氟化物,設備的净(jing)化效率高。
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